Gravação isotrópica e gravação anisotrópica de wafer de silício
Por um escritor misterioso
Descrição
A gravação de wafers de silício é dividida em isotropia e anisotropia; a gravação de anisotropia pode fazer vias de silício para embalagens 3-D.
The fabrication process of the chip: (a) Photoresist was spin-coated on
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